第311章 第一片亮起的硅（第2页）

涂胶、前烘、对准、曝光、显影、后烘……光刻这一道工序，就有七个关键步骤。每个步骤都可能失败，而一旦失败，这片晶圆就废了，三个月的等待，无数人的心血，都废了。

陈启明亲自操作光刻机。

这台六十年代的东德老设备，经过张卫东团队的改造，加装了简易的数控系统。但核心的光学系统还是原来的，解析度有限，对准精度也有限。

“掩膜版对准。”陈启明眼睛贴在显微镜上，手轻轻转动微调旋钮。

掩膜版上，是“长城1號”的全部电路图案。那是几十个工程师，用放大镜和刻刀，在玻璃板上一点一点刻出来的。最细的线条只有十微米，差不多是头髮丝直径的七分之一。

“对准完成。”陈启明直起身，揉了揉发酸的眼睛，“曝光参数？”

“能量300毫焦，时间8秒。”张卫东看著刚改造完的控制面板，“紫外灯管是新换的，强度波动在正负5%以內。”

“开始。”

紫外灯亮了，发出幽幽的紫光。八秒钟，很短。但在场所有人，都觉得这八秒钟，像一个世纪那么长。

曝光完成。晶圆被送入显影槽。

显影液是弱碱性的，会溶解未被紫外线照射的那部分胶膜，露出下面的硅。这个过程，就像洗照片，曝光的地方硬化保留，没曝光的地方溶解消失。

一分钟，轻轻摇晃。

陈启明取出晶圆，用去离子水冲洗，然后吹乾。

他再次把晶圆放到显微镜下。

所有人都围了过来，屏住呼吸。

视野里，出现了图案。

歪歪扭扭的线条，边缘不齐，有的地方宽，有的地方窄，土胶的粗糙一览无余。但是，线条是连续的！没有断线，没有短路，关键的电晶体区域、连线区域，都清晰可见。

“成了。”陈启明直起身，声音有点抖，“第一道光刻，成了。”

车间里响起一片压抑的欢呼声。但很快又安静下来，大家都明白，这只是一小步。

后面还有几十步。

蚀刻、扩散、离子注入、金属化、钝化、划片、封装、测试……每一步，都像走钢丝。

赵四下令：“按计划，二十片晶圆，全部走一遍流程。不要急，一步一个脚印。”

车间里再次忙碌起来。每个人都知道自己的岗位，都知道该做什么。三个月的高强度磨合，让这支临时组建的队伍，有了惊人的默契。

时间在流逝。

窗外的天，从漆黑转为深蓝，又透出鱼肚白。上海醒了，城市的喧囂从远处传来。但车间里的人，仿佛置身另一个世界，一个只有硅片、光刻胶、化学试剂和机器嗡鸣的世界。

上午十点，二十片晶圆全部完成了前道工序。它们躺在净化柜里，表面已经布满了复杂的电路图案，只是还看不出是晶片，要等金属化完成后，铝线把各个电晶体连接起来，才能形成完整的电路。

“金属化准备。”陈启明声音沙哑，他已经连续工作了十八个小时。

真空蒸镀机是老设备，故障率高。张卫东带著两个人，已经提前检修了三遍。

“真空度达標。”

“铝丝纯度检测通过。”

“基片温度稳定。”

“可以开始。”

铝丝在高温下蒸发，在真空环境中沉积到硅片表面，形成一层极薄的金属膜。然后，通过光刻和蚀刻，把这层膜刻成需要的连线图案。

这个过程，对温度和真空度的控制要求极高。温度差几度，真空度差一点，铝膜的附著性就会出问题，导致连线断裂或短路。

机器开始运转。透过观察窗，可以看见铝丝在高温下慢慢熔化、蒸发，在硅片表面凝结成一层银白色的薄膜。

很美，像星空。

一个小时后，第一批五片晶圆完成金属化。