第244章 流片数据出炉光刻机主体成功（第2页）

自家孩子究竟是个什么水准，基本是心知肚明。

流片验证虽尚未开始，但最终结果如何，多少会有一个预期数值。

徐铭依旧保持著冷静的思维，將贺鹏涛和丁顺安两位的交流，悉数听进耳中，虽想说些宽慰的话，给他们吃上一颗定心丸，但嘴唇微动下，还是把话给咽了回去。

逐光极紫外光刻机，和璇璣系统eda算法工具，他自然是胸有成竹信心满满。

但要知道一件事，流片验证的数据，可不单靠这两项左右，其中任何一个环节都能產生影响。

比如较为关键的光刻胶。

原本他的打算，是想通过璇璣系统，反向设计適配的高端光刻胶，儘管这会延长流片验证的日子，却可以保证良品率。

刚好科学院化学研究所，在国產光刻胶的研究上，取得了新突破。

便索性提前进行流片验证。

毕竟站在上面的角度，留给国內的时间確实不多，必须尽最大努力，和阿斯麦同步推出极紫外光刻机，把行业可能会受到的衝击损失，减低至最小范围。

於是念头停留在这里，他方沉声吐出一句话。

“开始工作吧，流片验证的数据如何，很快我们就能知道。”

隨著话音落下，身旁的贺鹏涛和丁顺安，也一改刚才脸上的笑容，神情变得严肃认真。

点点头前往各自的工作区域，指挥科研人员调试。

为流片验证做最后准备。

伴隨时间一分一秒流逝，机房现场的氛围，因逐渐瀰漫的紧张感，变得有些窒息。

连余高远等场外人员，都仿佛要屏住呼吸。

生怕因为自己发出的动静，导致今天的流片验证出现问题。

不知道过去多久，只听站在操作台前的潘耀，突然开口向徐铭进行匯报，总算暂时打破眼下的氛围。

“报告徐总师，设备已调试完毕，隨时可以进行流片。”

说完。

负责优化璇璣系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。

“璇璣系统优化完成。”

闻言徐铭猛地从椅子上站起身。

目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。

“开始吧。”

“是徐总设计师。”潘耀和苏振豪几乎同时回应。

紧接著所有科研人员，再次投入到紧张的工作状態，神情保持著高度专注。

此次流片验证採用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇璣系统软体生成。

包括解析度测试图案，套刻精度標誌，电性测试机构，和特殊监测图形等。

不多时。

在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看著第一片硅片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。

当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇璣输出的工艺档和珠光的標准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成製造后，进行光学量测和电子显微镜检测。