第244章 流片数据出炉光刻机主体成功（第1页）

第244章流片数据出炉，光刻机主体成功

宽敞明亮的机房內，首台逐光极紫外光刻机，被放置在中心位置，是全场毫无疑问的焦点。前方墙上的大屏幕处，最上面掛著个红色横幅。

写有一行標语。

“预祝全系统首次链路功能验证流片圆满成功”

而现场除总设计徐铭，贺鹏涛与丁顺安两位院士，和微电子装备项目科研人员外，还包括华天科技公司，科技部领导以及多位院士专家。今天全部聚集在这里，只为共同见证国家高端晶片製造的崛起。

其中很多人，都是项目某环节参与者。

最终的结果如何，对他们来说，称得上是与有荣焉。

心中都憋著一口气。

但像科学院院长余高远，则完全把自己，放在观眾的席位上，基本全程保持沉默，很少参与发言。

把本次验证的主导权，悉数交给总设计师徐铭。

仅在心中希冀验证圆满成功。

当视线重新回到徐铭身上，他已经伸手接过，贺院递过来的逐光”最新检测数据，隨即垂下目光神情认真的仔细查看。

从海外新思公司，与阿斯麦半导体设备，共同发出公告，宣布將在明年正式推出，全新的极紫外光刻机和配套eda算法工具，到现在已过去三个多月时间。

然论他们如何都不会想到，在这短短三个多月內，首台逐光极紫外光刻机，已完成组装。

將採用全新技术的核心光源系统，和工作件物镜系统等零部件整合。

这几天在差不多二十四小时，不停地调试优化下，基本满足实际流片验证標准。

在如此情况下，由国家晶片製造產业专项领导小组表决，定下今天开展首次全系统链路功能验证流片实验。

“没问题。”徐铭重新把数据文件递还过去说。

贺鹏涛接下笑著说：“大家等这一天可是很久了，眼下终於要变成现实。”他讲完不知是想到了什么，脸上显露出来的情绪，相比刚才多出几分伤感。

早在十年前。

国家发布中长期科学和技术发展规划纲要，把极大规模集成电路製造技术及成套工艺，排在16个国家重大科技专项首位，真正重视起晶片製造技术，並给予持续和巨额的经费支持。

他便被任命为项目主要负责人，扎根光机所研发国產光刻机。

儘管数年来取得一定成果，但距离海外阿斯麦公司，仍面临著巨大技术层面差距。

当时行业主流观点是，未来二十年时间，很有可能都无法实现追赶。

从某种程度上讲，比战斗机更加复杂棘手。

对任何一位光机所人来说，看到国產光刻机崛起，实现自主高端晶片製造，是大家最真挚质朴的梦想。

他贺鹏涛自然也不例外。

而如今因为徐铭，这个尚不到三十岁的青年才俊，国家的极大规模集成製造技术，迎来飞速突破进展。

以往的梦想得以实现，且亲眼目睹。

情绪难免会有所宣泄。

这是人之常情。

“你就放心吧老贺，咱们的逐光肯定能经受检验。”丁顺安闻言，及时接过话茬，成功转移贺鹏涛的注意力。

作为逐光系列光刻机的研发人员，就相当於是把孩子养大的父母。