第244章 流片数据出炉光刻机主体成功（第3页）

或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终於捨得主动开口。

“真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经歷过这种心情了。”

说这句话时，故作轻鬆的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。

“大家的压力確实不小。”贺鹏涛点点头附和句。

前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：“国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。”

他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位於国內领先地位。

对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。

此次整合国內资源，成立国家集成电路製造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。

负责国產高端光刻胶的研发工作。

其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭藉自身实力和天赋，带领光刻机和晶片设计软体，快速实现技术叠代。

以至於经常能在网上看到，又有新的进展新闻。

这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有著巨大的压力。

只能依靠自身。

尽最大努力，保证国產高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。

毕竟大家所在工作属於一个整体，任何人掉队都不行。

幸好他们的运气还算不错，在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕，成功合成一种效果更好的光刻胶。

远超过当前国內的光刻胶水平。

而正当他思维快速运转，脑海中一直想著流片结果时，耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。

“我们要看的，不是能不能做出图形，而是现实与预测的偏差，究竟有多少原子。”徐铭看向周启深院士，神情很是认真的接话，他对流片数据的要求，远比现场人要高。

如果说其他人的目標，是晶片製造技术，追赶上阿斯麦设备的產品。

那么他则是要超过。

况且在付出这么多努力和心血后，想达成这一点，也並非是什么不可能做到的事。

余高远对徐铭的了解，无疑要比现场任何人都深。

他在听到这句话，当即应和道：“有你的这句话，我对流片结果可是更加期待了，看来又要给我惊喜。”

眾人之间的交流並未持续多久，很快就又被流片过程吸引。

目睹百分之百国產化，正在运行的逐光极紫外光刻机，团队士气越发高昂。

由於整个流片过程，包括光刻和刻蚀，以及沉积等数十道工序，且被严密监控，因此往往要歷时数周时间才能结束。

面对这种情况，大家毅然留在微电子装备。

都想第一时间看到流片数据，也好见证国內晶片製造歷时上，真正里程碑时刻。

很快来到月底。

高考结束分数陆续出炉，准大学生开始填写志愿，选择自己心仪的高校专业。

如果这时候去参加，各地举行的招生活动，则会发现燕大所在展台位置，基本上一个学生和家长都没有，但偏偏被旁边的箐华等，学校招生老师羡慕的不行。

没办法。