第245章 你难道连这个也懂（第1页）

第245章你难道连这个也懂

“继续讲吧。”

徐铭点点头重新看向对方，示意往下接著报告。

这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。

“对。”

“快说下其他测试项目情况？”

迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，隨即接著念出手中报告后面的內容。

“线条边缘粗糙度出现异常，ler的测量值，普遍比璇璣系统预测高出30%。”

隨著这句话讲出，房间內的氛围顿时一变。

原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。

没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。

而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。

旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。

从刚才的测试结果来看，国產逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。

正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。

视线约摸移动了几行內容，口中不由得低喃出声。

“线条边缘在显微镜下，呈现出颤抖的毛边形態，並非预测中的光滑刀刃。”

“我们的光刻胶刚完成技术升级————”

“不应出现这种情况才对？”

话音还未完全落下，华天科技董事长孙庆丰，几乎下意识脱口接上一句。

“璇璣系统是由徐总师亲自带领大家开发，预测的数值绝对能够保证精度。”

“没错。”苏振豪闻言也点了点头。

他全程见证了，徐铭亲自参与璇璣系统开发，深知其核心算法和模型的技术程度，是绝无例外的远远领先於海外三大eda公司產品。

贺鹏涛与丁顺安等微电子装备这边，按理说应该会逐光极紫外光刻机的成功高兴，但突然出现这种情况，心里涌现出几分担忧。毕竟无论光刻机还是光刻胶，亦或者璇璣系统软体，都是为了製造高端晶片服务，任何环节出现问题所带来的结果一样。

那就是生產线无法启动。

至於院长余高远，和其他领导，因未具体参加项目。

面对稍专业的內容，无法做出判断。

只得把目光投向，身为总设计师的徐铭。

將大家的反应看在眼里，徐铭这时却並不意外，相反早就做出了类似情况的措施。

不管怎么说，这都是首次进行全链路流片验证，中间涉及到的因素实在太多太多，纵使发生状况也属於很正常的一件事情。

要知道在极紫外光刻机领域，国內可没有什么流片的具体经验。

在这件事上，还是要承认海外优势的。

念头停留在这里，他目光在眾人身上扫过，接下周院士递来的报告，垂眼快速瀏览完后，依旧无比镇定的讲出自己的相关判断。

“可能是工艺波动，或者测量误差，先等电性测试结果出来吧。”