第457章 精益求精(第1页)
京城,中科院半导体研究所,西配楼。这是一栋上世纪八十年代的老楼,红砖墙上爬满了爬山虎,走廊里昏暗潮湿,空气中弥漫着一股发霉的书卷味和化学试剂的味道。和江州那充满未来感的“启明”总部相比,这里简陋得像个乡村中学。林远和顾盼站在一扇掉漆的木门前。门上贴着一张手写的纸条:“实验中,请勿打扰敲门者后果自负”。“老板,咱们是不是找错地儿了?”顾盼小声嘀咕,“这可是国家级研究所,怎么跟个仓库似的?”“没找错。”林远看着那张纸条,神色肃穆,“真正的高手,往往都在扫地僧待的地方。”他轻轻敲了三下门。没反应。又敲了三下。“滚!”门里传来一声女人的怒吼,伴随着玻璃杯摔碎的声音。林远没走,他推开了门。屋里乱得像个垃圾场。到处是堆积如山的论文、图纸,还有吃剩的泡面桶。在房间中央的一台仪器前,坐着一个穿着白大褂的女人。她头发蓬乱,黑眼圈重得像熊猫,手里拿着一把镊子,正对着显微镜发呆。她就是陆曼profesr。中科院最年轻的博导,也是半导体物理界公认的“疯子”。“我说了滚,听不懂人话吗?”陆曼头也没回,“经费没了就是没了!别再拿那些填表报销的破事来烦我!”“我不是来报销的。”林远开口,“我是来送钱的。”陆曼转过身,眯着眼睛打量了林远一眼。“你是谁?那个卖保健品的?”“我是林远,江南之芯的。”“哦,那个造芯片的暴发户。”陆曼冷笑一声,转过身继续看显微镜,“没兴趣。你们搞的那套是工程,我搞的是科学。道不同。”“我听说,您想在硅片上种出量子点?”林远没生气,直接切入正题,“但是,种了三年,全都死了。”陆曼的手抖了一下。这是她的痛处。“关你屁事。”“我有办法让它们活。”陆曼猛地转过身,死死盯着林远。“你知道为什么会死吗?”“知道。”林远走到黑板前这里只有黑板,拿起粉笔。“因为脚不合鞋。”林远在黑板上画了两个方块。“下面这个大的,是硅silin原子,它们排得很整齐,间距比较大。”“上面这个小的,是磷化铟p,也就是能发光的量子点材料,它的原子排得很紧。”“当你想把小的硬生生种在大的上面时。”林远画了几条歪歪扭扭的线。“因为脚印晶格常数对不上,两者之间就会打架,产生应力。”“就像你非要让一个穿35码鞋的人,去穿45码的鞋,还得跑百米冲刺。”“结果只有一个崴脚。”“在微观世界里,这就是位错dislocation。”“这些裂纹会像伤口一样,不断蔓延,最后把量子点撕碎。光还没发出来,材料就先崩了。”“我说得对吗?”陆曼看着黑板,眼神变了。她没想到这个“暴发户”竟然懂底层的晶体物理。“你说得对。”陆曼叹了口气,从抽屉里拿出一盒废片。“这就是尸体。”“我试了无数种缓冲层,想给它们垫个鞋垫,但都失败了。裂纹总是能穿透鞋垫,杀死上面的花。”“所里已经停了我的经费。他们说这是违背物理规律的,让我去搞搞简单的led。”“林先生,你凭什么觉得你能行?”林远看着那盒废片。“因为我不信命。”“陆教授,如果平地上种不活,那我们就在悬崖上种。”“什么意思?”陆曼皱眉。“既然裂纹位错一定会产生,那我们就不去消灭它。”林远在黑板上画了一排深深的“沟”。“我们利用它!”“我们在硅片上,刻出一排排深坑。坑的两边是直上直下的墙壁。”“然后,我们在坑底开始种量子点。”“裂纹会产生,会向上生长。”“但是!”林远加重了语气,“当裂纹撞到两边的墙壁时,它就会停住!”“这叫缺陷捕获。”“就像我们把垃圾扫进地缝里一样。”“只要坑够深,墙够直,所有的伤口都会被锁在坑底。”“而长出坑口的这一部分材料,”林远画了一个冒出头的蘑菇,“就是完美无瑕的!”“我们就在这上面,做激光器!”陆曼盯着那个图,眼睛越瞪越大。这是一种极其巧妙的几何学陷阱。利用晶体的生长方向,把缺陷“引导”到死胡同里去。“这……这理论上可行。”陆曼喃喃自语,“这叫art纵横比捕获技术。但是……”“但是什么?”“但是,要在硅片上刻出这么深、这么直、还要只有几十纳米宽的坑,国内的刻蚀机做不到。”小主,这个章节后面还有哦,,后面更精彩!“坑壁稍微歪一点,裂纹就跑出来了。”“而且,”陆曼指着那台老旧的机器,“我的这台分子束外延炉be,是二十年前的古董。它的温度控制早就坏了,正负误差5度。要在坑里长晶体,温度误差不能超过01度。”“巧妇难为无米之炊。”这就是科研的无奈。有想法,没设备。林远看着那台像废铁一样的机器。“设备坏了,我来修。”“刻蚀机不够好,我给你调。”“陆教授,从今天起,江南之芯就是你的后勤部。”“你要什么,我给什么。”说大话容易,干起来难。林远把王海冰和汉斯都叫到了北京。汉斯看着那台老掉牙的be炉子,直摇头。“林,这东西该进博物馆了。加热丝都老化了,真空泵也漏气。想让它控制在01度?除非上帝亲自来烧火。”“买新的呢?”“新的be是美国威科vee产的,属于最高级别的禁运品。给多少钱都不卖。”“那就只能修。”林远咬牙。“怎么修?零件都买不到。”“不用换零件。”林远指着控制面板,“换脑子。”“这台机器之所以温控不准,是因为它的控制逻辑是傻瓜式的pid控制。它不知道加热丝老化了,也不知道真空度在变。”“汪总,”林远连线汪韬,“给这台炉子,装一套ai温控系统。”“在炉子里,加装一百个传感器。”“实时监测每一个点的温度变化。”“然后,用ai去预测温度的波动,提前调整功率。”“虽然加热丝烂了,但只要我们控制得够快、够准,烂车也能开出法拉利的速度!”这是一场“由于贫穷而引发的技术爆炸”。工程师们把炉子拆得七零八落,缠满了各种线缆。“启动ai接管模式。”炉子轰鸣起来。屏幕上的温度曲线,原本像心电图一样乱跳。在ai介入后,曲线开始慢慢变平,变直。误差:±3度……±1度……±02度!“稳住了!”汉斯惊叹,“这ai简直是化腐朽为神奇!”炉子好了,接下来是“挖坑”。要在硅片上刻出深宽比达到10:1的纳米深坑,而且侧壁要绝对垂直。这需要“深硅刻蚀drie”技术。国内的刻蚀机,刻浅坑还行,刻深了,侧壁就会变成“v”字形,或者像狗啃一样。“怎么办?”王海冰看着显微镜下的废片,“侧壁不直,缺陷锁不住。”“用博世工艺boschprocess?”“试过了。博世工艺会在侧壁留下波浪纹scallopg,更糟糕。”林远盯着那些坑。“既然刻不直……”“那我们就修直。”“怎么修?”“湿法腐蚀。”林远想起了他在大学学过的晶体知识。“硅晶体是有方向的。它的111晶面,化学性质非常稳定,很难被腐蚀。”“我们用氢氧化钾koh溶液去泡它。”“强碱会把其他乱七八糟的面都腐蚀掉,最后只剩下那个最硬、最平、最直的111面!”“这叫自停止腐蚀。”“利用大自然自己的规则,去修整出完美的墙壁!”坑挖好了,炉子稳了。最后的时刻到了。陆曼颤抖着手,将一片处理好的硅片放进了炉子里。“开始生长。”源炉打开。铟和磷的原子束,像蒸汽一样喷射出来,落在那一个个微小的深坑里。这是一个微观世界的奇迹。原子们落入坑底,开始排列。因为“脚不合鞋”,裂纹产生了。裂纹沿着45度角向上生长。“砰!”裂纹撞在了侧壁的“墙”上,停住了。而晶体继续向上生长。越过坑口,长出了一朵朵完美无瑕的、蘑菇状的量子点晶体。就像在悬崖峭壁上,开出了一朵朵纯净的花。五小时后。晶圆出炉。激光泵浦测试。一道明亮的、纯净的红外光,从晶圆表面射出!“亮了!亮了!”陆曼看着光谱仪上的峰值,突然蹲在地上,嚎啕大哭。三年了。没人知道她这三年是怎么过的。被嘲笑,被停经费,被视为疯子。今天,她终于在最廉价的硅片上,种出了最昂贵的光。“成功了。”林远扶起陆曼。“这是世界上第一块硅基量子点激光器。”“成本,是传统磷化铟激光器的百分之一。”“我们可以用它,把光子芯片的价格,打到地板上!”庆功宴就在实验室里吃,吃的是泡面。陆曼狼吞虎咽地吃完,抹了抹嘴。“林远,虽然光发出来了,但还有个问题。”“什么?”“这光散了。”陆曼指着那束光。“激光器发出的光,是向四面八方发散的。但是,光子芯片里的波导光路,只有几百纳米宽。”“要把这么大一束光,塞进那么细的管子里。”“耦合效率uplgefficiency非常低。”“现在只有10的光能进芯片,90都漏掉了。”“如果不解决耦合问题,这激光器就是个大灯泡,不是芯片的心脏。”林远皱眉。这就是“光路对接”的难题。就像拿着消防水龙头,往针眼里灌水。“我们需要一个漏斗。”“一个能把光,从大变小,聚拢起来的微型漏斗。”“这需要透镜。”“但是,普通的透镜太大了。我们需要在芯片上,直接做一个微米级的透镜。”“这就得用微纳3d打印。”林远想起了之前在新加坡看到的“雷神”封装机。“或许,我们可以把那个雷神,再改造一下。”“不喷金属,喷玻璃。在芯片的端口上,直接打印出一个微透镜!”“回江州找黄志诚。让他把针头磨细点,我们要在针尖上雕花。”:()官道红颜:她们助我一路升迁