第225章 以最强力的方式回应(第1页)
第225章以最强力的方式回应
隨著徐铭的话音落下,丁顺安院士先是沉思,约摸过去小半分钟时间,突然像是想到了什么,猛地抬起头脸上浮现出欣喜表情。
“好办法。”
“让多路雷射同时激发,这样一来的话,所產生的稳定光源功率定会提升。”
“达到商用的250瓦也就不是问题。”
他对於这次实验验证的结果,无疑感到很高兴,既证明了徐铭提出的设想可行,又让大家这几个月以来的努力没有白费。但碍於目前国內正遭遇的困境,他太过想要赶紧解决当下局面。
所以才会对稳定极紫外光源的功率感到遗憾。
毕竟实验功率,只有商用数值的五分之一大小,想让其增长的话,仍需投入大量时间研究。
相当於又延长了国產高端光刻机的研发周期。
但他万万没有想到,这个担忧的问题,在徐铭口中竟显得如此简单。
仿佛隨时就能解决。
关键他在脑海中进行研判后,確定可行性很高,若採用徐铭的方法,就算达不到商用的250瓦,也绝对会比现在的数值高出很多。
无疑又是一个巨大的惊喜。
快速回过神来,他有些控制不住情绪,下秒主动向徐铭询问確认。
“徐总师。”
“是不是你早就想过这个问题了?”
主要从得到验证数据,到徐铭给出解决方案,前后连两分钟都不到,实在让人无法相信,这是临时刚想出来的光源功率应对方法。
而丁顺安院士的这句话,也成功引起了,现场其他人的好奇目光。
纷纷凝聚过来视线。
连贺鹏涛院士也笑著附和道:“现在啊,我从徐总师口中听到什么都不奇怪“”
。
春城光机所研究多少年的核心光源系统,在徐铭这里只用几个月便验证成功,让他不免有一种先前都在研究什么的羞愧感,若早换作徐铭来负责,恐怕现在国產高端光刻机技术早就领先全球嘍。
也不至於搞得像现在这么被动。
徐铭听完两人的话,看向大家的目光,嘴角浮现著淡淡笑容如实回答。
“我確实考虑过光源功率问题,只是因为多环结构的光源靶盘,设计研发难度会比正常高出不少,为了儘快验证这项理论设想,才暂时放弃了极紫外光源的功率。”
“有你这句话,我放心多了。”丁顺安脸上堆满笑容连连回答。
既然此方法早就在徐铭计划里,说明是经过比较周密严谨的推导论证,如此成功率也就有了保障,必然能够解决稳定光源功率问题。
当高端光刻机最核心的光源系统,其技术被成功攻克並优化效率,那么后续其它光刻机部分的研究,效率上就会畅快许多飞速进展。
想到用不了多久,首台国產极紫外光刻机就能问世。
其心情可想而知。
“说实话我从来没有想过,咱们的高端光刻机,能研发的这么顺利,看来我们对徐总师你的了解,远远不如余院长知道的多啊!”