第182章 光刻机突破（第1页）

测试那天，林建国在实验室里转了三圈。

那台光刻机蹲在无尘间中央，银白色外壳上缠满传感器线，像爬了藤的老树。他站在玻璃窗外，盯著里头那片硅片，手心全是汗。

孙小梅在调参数。手指拧一下旋钮，看一眼屏幕，再拧一下。额头的汗珠子顺著脸颊淌，淌到下巴，滴在工作服上，洇出一小片深色。

“林组长，光源稳了。”

林建国凑到屏幕前。曲线还在跳，比刚才稳了些。

“再等等。”

等了十分钟。曲线彻底平了。

林建国吸了口气，按下启动键。

机器转起来。嗡嗡的，像一群蜜蜂闷在玻璃罐里。硅片在工件台上缓缓移动，光源一闪一闪，把微小的图案刻上去。

十分钟。

二十分钟。

第三十五分钟，警报突然响了。

“滴——滴——滴——”

孙小梅脸白了：“曝光剂量飘了！正在往上窜！”

林建国扑到屏幕前。那条本该平直的绿线正斜著往上爬，照这个速度，用不了五分钟，整批硅片就得报废。

“怎么回事？”

“不知道！反馈迴路可能出问题了！”

林建国脑子空白了两秒。九十纳米，三个月的心血，全都在这台机器里转著。

他扭头看孙小梅。她盯著屏幕，手指悬在急停按钮上，在抖。

“別停。”林建国嗓子里像塞了沙子，“手动介入，给我往下压。”

孙小梅愣了半秒，咬牙把手收回来，开始拧那些平时根本不动的手动旋钮。她拧一下，看一眼屏幕，再拧一下。绿线还在爬，但爬得慢了。

林建国盯著墙上的倒计时。还有十六分钟。

“继续压。”

“压不动了！到底了！”

林建国衝过去，站在她身后：“把阻尼关了，强拧！”

孙小梅手一顿。关了阻尼，拧过头就是短路。

她没说话，伸手把阻尼开关拨上去，按住那个旋钮，一点一点往过拧。

绿线停了。

停在临界值上，轻轻发颤，就是不往上走了。

林建国屏住呼吸。

一分钟。