第309章 第一道光（第1页）

上海的七月，热得像蒸笼。

赵四走下火车时，扑面而来的不只是热浪，还有一股混合著机油、铁锈和潮湿空气的工业味道。上海元件三厂。

前身是生產电子管的国营厂，现在被划给了748工程，作为第一条4位微处理器生產线的筹建地点。

厂门口掛著新牌子：“748工程上海实验基地”。字是刚刷的，白底红字，在烈日下有些刺眼。

林雪已经在门口等著了，晒得满脸通红，工装后背湿了一大片。

“赵总工！”她小跑著迎上来。

“怎么是你来接？陈启明他们呢？”赵四把简单的行李递给她。

“在车间，出事了。”林雪压低声音，“第一炉光刻，良品率……不到5%。”

赵四心里一沉：“走，去看看。”

车间是原先的电子管装配车间改造的，窗户都封死了，装了简易的空调和除尘设备。

一走进去，一股更复杂的气味扑面而来。化学试剂、臭氧、还有金属烧灼后的焦味。

陈启明、张卫东都在，还有上海本地的刘工，几个人围在一台老旧的光刻机前，脸色都很难看。

“赵总工。”陈启明看见他，嗓子哑得厉害。

“具体什么情况？”赵四没废话，直接走到工作檯前。

台上摊著几片晶圆，在日光灯下泛著诡异的彩色光泽。

他拿起一片对著光看。

上面刻蚀的电路图案模糊不清，有的地方线条断了，有的地方粘连在一起，像小孩子拙劣的涂鸦。

“这是第一炉？”赵四问。

“第三炉了。”刘工苦著脸，“第一炉全军覆没，第二炉好点，有3%能用。这炉……最多5%。”

“问题出在哪？”

“不知道。”陈启明抓了抓头髮，头髮上沾著不知名的化学粉末，

“光刻胶不均匀？曝光时间不对？显影液浓度有问题？都有可能。我们挨个试，试了三天，还是这样。”

赵四放下晶圆，走到光刻机前。

这台机器是六十年代初从东德进口的，原本用於生產简单的电晶体。

控制面板上的德文標籤已经磨损，几个旋钮的刻度都模糊了。

“机器校准过吗？”

“校准了三次。”张卫东说，“我和刘工亲自调的。光学系统我们也拆开清洁过，镜片没问题。”

“光刻胶呢？”

“按配方配的。”林雪接口，“我们试了三种配方，这种效果最好，但也……”

赵四沉默了一会儿，环视车间。

这里条件確实简陋。洁净度最多千级，温度控制靠几台老空调，湿度完全看天气。

而他们要做的，是在硅片上刻出宽度只有几微米的线条。

这就像用生锈的刻刀在头髮丝上雕刻。

“把所有人都叫来。”他忽然说，“开个现场会。”

十分钟后，车间里站了二十几个人。

除了北京来的核心团队，还有上海厂本来的技术工人、新招的学徒，以及几个从其他单位借调来的专家。

大家都站著，没人坐。空气闷热，但没人擦汗。

“情况大家都看到了。”赵四开门见山，“良品率5%，等於100片里只有5片能用。这个成本，我们承受不起。更关键的是，如果连最简单的光刻都过不了关，后面的扩散、离子注入、金属化，更没戏。”

他顿了顿，目光扫过每个人：“现在不是互相埋怨的时候，也不是退缩的时候。我们需要找到问题，解决问题。每个人，说说自己的看法。从光刻胶开始。”

负责光刻胶的是个中年女技术员，姓王，以前在化工厂工作。她有些紧张：“赵总工，我……我都是按配方配的。原料是咱们能搞到的最好的，配比也是反覆核对过的。”