第415章 参观基地2（第1页）
“您给的那个抛光算法，简直就是数学上的艺术品！我们几个老家伙研究了好几宿，越看越觉得深不可测。老板，您要是还有这种算法，可千万别藏着掖着，给我们开开眼吧！”林平安看着那面仿佛能吸走灵魂的镜子，满意地点了点头。这就是euv光刻机的“眼睛”。没有它，再好的光也刻不出电路图。“还有这个，双工件台。”李工又带着林平安来到了另一个车间。这里，两个巨大的金属台正在高速运动。它们就像是在冰面上滑行一样，无声无息，却快如闪电。“以前的光刻机，只有一个台子。曝光的时候不能测量，测量的时候不能曝光。效率太低，就像是一个人干两份活。”“而这个双工件台，一个在曝光，另一个就在旁边测量、对准。两不耽误！效率直接翻倍！”李工指着那两个台子，它们在磁悬浮导轨上飞速穿梭，速度快得惊人，却又稳如泰山。“这就是那个‘磁悬浮平面电机’技术！加速度能达到2g，定位精度却能控制在几纳米！”“老板，这简直就是机械工程的奇迹！有了这个，我们的光刻机生产效率，绝对吊打尼康和佳能！”“当初我们看到图纸的时候，都觉得这是科幻小说里的东西。怎么可能在这么高的速度下还能保持纳米级的精度？但是，当我们按照您的控制逻辑把代码敲进去之后……”李工激动得胡子都在抖：“它真的跑起来了！而且比我想象的还要稳！老板，这种控制算法，您到底是怎么想出来的？这比现在的工业控制理论先进了至少二十年啊！您要是还有关于运动控制的资料，能不能再给我们讲讲？”周围的年轻工程师们看着那两台不知疲倦工作的机器，眼中满是自豪，也满是对林平安的崇拜。在他们心里，老板已经不是商人，而是无所不知的科技之神。……最后，林平安来到了第十三层。材料学实验室。这里的味道有些刺鼻，那是各种化学试剂的味道。但这刺鼻的味道，在科研人员闻来，却是最香甜的胜利果实。“老板，您要的光刻胶，配出来了！”一位戴着厚厚眼镜的女博士迎了上来。她是这一层的负责人，专门研究高分子材料。她手里拿着一个小小的玻璃瓶，像捧着稀世珍宝。“euv光刻胶，那是光刻机皇冠上的宝石。以前全被日本jsr和信越化学垄断了。他们卡我们的脖子，卖给我们的都是落后两代的货色，还爱卖不卖的。”女博士咬了咬牙，显然以前没少受气。“但是现在，我们有了这个！”她举起那个深褐色的小瓶子：“按照您给的‘化学放大型’配方，我们合成出了这种新型光刻胶。”“它的感光度极高，只需要极少的euv光就能发生反应。而且，它的分辨率能达到5纳米级别！边缘粗糙度极低！”“我们做了对比测试，性能比日本最顶级的货还要好30！而且成本只有他们的一半！”女博士激动得眼圈都红了，声音哽咽：“老板，有了这个，我们就再也不用看日本人的脸色了！这是咱们中国人自己的配方！是您给我们的配方！”“您知道吗？当我们把这个配方做出来的时候，大家都觉得不可思议。这种分子结构的组合，这种引发剂的选择，完全颠覆了现有的教科书。老板，您在材料学上的造诣，简直让我们这些博士汗颜。您要是还有关于底部抗反射涂层（barc）的新想法，一定要告诉我们啊！我们现在干劲十足，就等着您的新指示呢！”除了光刻胶，还有掩膜版。那是芯片电路图的底片。“这是euv掩膜版。”另一位工程师拿出一块黑色的板子，小心翼翼地放在测试台上。“它不再是透明的玻璃，而是一块反射镜。上面覆盖了特殊的吸收层。”“这种结构，能承受euv光的高能轰击而不变形。这是我们按照您的‘无缺陷多层膜沉积’技术做出来的。”“全球独一份！asl之前还在用透射式的思路呢，当然现在他们已经不存在了！”工程师看着林平安，眼神热切：“老板，您这脑子里到底还装了多少好东西？能不能一次性都拿出来？让我们也跟着您一起见证奇迹！”……从5层到16层。林平安一层层地走过，一项项地验收。光源、光学、机械、材料。这光刻机的四大核心技术，在“流氓基地”这群疯狂科学家的努力下，在小白提供的“天书”指引下，已经全部变成了现实。这不仅仅是几台机器，几瓶药水。这是通往未来的钥匙。是打破西方百年技术封锁的铁锤。视察结束，林平安站在顶层的落地窗前，看着脚下的中关村。“老板，这些技术……”老陈有些迟疑地问道，声音里带着一丝颤抖，“我们真的要公开申请专利吗？这可是能改变世界的秘密啊。”在他看来，这些都是国之重器，应该藏起来，作为杀手锏。“当然要申请。”林平安转过身，嘴角勾起一抹自信的微笑。“我要用专利，给全世界的半导体行业，上一把锁。”“一把只有我有钥匙的锁。”“以后，无论是asl想复活，还是尼康想翻身，只要他们想造高端光刻机，就绕不开我的专利墙。”“别担心，申请的也只是双工件台的运动逻辑，euv光源的激发原理等等”这些大方向的专利。听到老板这么说，老陈放心多了，他就怕老板一头热，什么核心都申请了。林平安又不傻，他当然知道什么该申请，什么不该申请。比如“液锡喷射的具体温度控制曲线”、“光刻胶的精确配方比例”、“镜头的最终抛光磨料成分”。这些东西坚决不写进专利，作为公司的最高商业机密进行物理隔离保护。这样，即使对手看到了专利，知道原理，也造不出来，或者造出来的良率极低。：（）娱乐之王：我的2002ai帝国